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马鞍山Sin@SiC-SiC系列
• 致密度高
• 结合力强
• 高纯度
• 良好导热
• 抗氧化
• 抗开裂
• 高电阻(部分产品)
类别:
马鞍山产品与应用
产品描述
必赢国际bwi437产品涵盖碳基、陶瓷及其高端材料,应用于半导体芯片制造各个环节,如单晶生长、外延、刻蚀、扩散、CVD、PVD等。产品性能媲美海外SiC耗材先进友商,助力高端制造国产化。
产品性能:
耐高温 |
耐高压 |
耐磨 |
使用寿命高 |
耐腐蚀性 |
纯净度高 |
材料及特性
• 基材:烧结SiC(厚度>0.5 mm) |
• 涂层:β-SiC(厚度<300 μm) |
应用场景
晶圆制造
• 外延 |
• 扩散 |
|
实现技术
• 粉末烧结技术 • 精密加工(SiC) |
• 低压化学气相沉积(LPCVD) |
性能要求
• 致密度高 |
• 结合力强 |
• 高纯度 |
• 良好导热 • 高电阻(部分产品) |
• 抗氧化 |
• 抗开裂 |
应用领域
• LED光电 |
• 集成电路 |
• 第三代半导体 |